DF1000 Lò xử lý nhiệt Ohkura Vietnam

DF1000 Lò xử lý nhiệt Ohkura Vietnam là dòng sản phẩm chuyên dùng trong các quy trình xử lý nhiệt trong ngành công nghiệp bán dẫn, đặc biệt phù hợp với các công đoạn khuếch tán và oxy hóa. Dưới đây là thông tin chi tiết:

Thông số kỹ thuật DF1000 Ohkura Vietnam:

• Loại xử lý: Khuếch tán, oxy hóa.
• Nhiệt độ hoạt động: 600°C đến 1200°C.
• Kiểm soát nhiệt độ: Hệ thống điều khiển 3 vùng độc lập giúp duy trì sự ổn định và đồng đều của nhiệt độ.
• Kích thước wafer hỗ trợ:
  • Từ φ100 mm đến φ200 mm, đáp ứng nhu cầu đa dạng của ngành sản xuất bán dẫn.
• Kích thước lò:
  • Lớn nhất: W 2650 mm × D 1200 mm × H 2580 mm.
  • Nhỏ nhất: W 1850 mm × D 700 mm × H 2150 mm.
• Độ dài vùng ngâm: 800–900 mm ± 1.0°C.
• Tùy chọn vận hành: Bộ nạp mềm (Soft Loader), thang nâng (Boat Elevator), và các hệ thống vận chuyển tự động.

Đặc điểm nổi bật Ohkura Vietnam:

• Kiểm soát chính xác: Công nghệ kiểm soát nhiệt hiện đại đảm bảo nhiệt độ đồng nhất, thích hợp cho các ứng dụng đòi hỏi độ chính xác cao.
• Hiệu suất cao: Thiết kế lò ngang nhiều tầng giúp tối ưu hóa không gian và tăng năng suất.
• Dễ dàng bảo trì: Kết cấu cho phép thay thế linh kiện như bộ gia nhiệt và cặp nhiệt điện trong khi các bộ phận khác vẫn hoạt động.
• Tương thích cao: Có thể được thiết kế phù hợp với các hệ thống hiện có hoặc không gian hạn chế.
• Tối ưu chi phí: Các thành phần được lựa chọn kỹ lưỡng, giảm chi phí vận hành nhưng vẫn duy trì hiệu suất cao.

Ứng dụng DF1000 Ohkura Vietnam:

• Ngành công nghiệp bán dẫn: Xử lý nhiệt trong sản xuất chip, linh kiện bán dẫn.
• Công nghệ vật liệu: Hỗ trợ xử lý các vật liệu tiên tiến cần điều kiện nhiệt độ ổn định.
• Nghiên cứu và phát triển: Sử dụng trong phòng thí nghiệm và sản xuất thử nghiệm.

Hãy liên hệ ngay với PumpFanBlow để nhận được sự tư vấn và hỗ trợ tốt nhất.
Địa chỉ: Số 4 Đường 14, Quốc Lộ 13, Khu Đô Thị Vạn Phúc , Phường Hiệp Bình Phước, Thành phố Thủ Đức, Thành phố Hồ Chí Minh, Việt Nam
Điện thoại: 037 483 0598
Email: Sale@pumpfanblow.com
Website: https://pumpfanblow.com/
Fanpage: https://www.facebook.com/Pumpfanblow